Магнитные материалы для микроэлектроники
имости изготовления и обработки подложки. Необходимая для образования
ЦМД одноосная анизотропия возникает в процессе технологии изготовления
пленок и обусловлена механическими напряжениями, которые появляются из-за
неполного соответствия постоянных решетки подложки и эпитаксиального слоя,
а также вследствие влияния небольших примесей свинца пли висмута, которые
попадают в пленку из расплава.
Для подавления твердых ЦМД принимают специальные технологические меры,
направленные на создание определенной структуры доменной стенки: ионное
внедрение или покрытие поверхности пленки феррита-граната тонкой пленкой
пермаллоя. При ионной имплантации вследствие бомбардировки пленки ионами с
высокой энергией на ее поверхности образуется замыкающий магнитный слой
толщиной меньше 1 мкм, намагниченность которого вследствие возникающих
механических напряжений направлена перпендикулярно намагниченности ЦМД и
лежит в плоскости пленки. Наиболее простым способом подавления твердых ЦМД
является отжиг пленок в инертной среде при 1100° С.
Аморфные магнитные пленки сплавов переходных металлов с редкоземельными
металлами типа Gd-Co и Gd-Fe являются сравнительно новыми перспективными
доменосодержащими материалами с диаметром ЦМД меньше 1 мкм, что позволяет
повысить плотность записи информации до 109 бит/см2. Их отличают также
простота изготовления, относительно низкая стоимость, поскольку свойства
аморфных материалов в отличие от эпитаксиалыных пленок слабо зависят от
материала и качества подложки.
Магнитоупорядоченные интерметаллическне пленки GdCo3 и GdFe2
обеспечивают существование устойчивых ЦМД при определенном соотношении
между компонентами состава, определенной толщине пленки и соответствующих
условиях выращивания. Пленки производят чаще всего методом радиочастотного
распыления на подложки из стекла пли электролитическим осаждением па
подложки из меди.
Гексагональные ферриты со структурными формулами характеризуются
высокой намагниченностью насыщения, высоким фактором качества, но их низкая
подвижность ограничивает область применения этих материалов.
МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ МАГНИТООПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ
Ряд веществ, в том числе ферромагнетики, обладают магнитной
оптической активностью. Наведенная магнитным полем оптическая активность
проявляется и двух эффектах - Фарадея и Керра. Эффект Фарадея сводится к
повороту плоскости линейной поляризации светового луча, проходящего через
магнитооптическую среду. Угол поворота при направлении магнитного поля
вдоль луча пропорционален напряженности магнитного поля. Нечто похожее
наблюдается и при отражении линейно поляризованного луча света от
поверхности ферромагнитного материала в присутствии магнитного поля. Этот
эффект именуют эффектом Керра. Прошедший или отраженный свет несет, таким
образом, информацию о текущем значении напряженности магнитного поля на
поверхности ферромагнитного материала, зафиксированную углом поворота
плоскости поляризации луча.
Модуляцию луча по поляризации следует преобразовать в модуляцию но
интенсивности. Эта операция может быть выполнена чисто оптическими
средствами. .Для этого достаточно магнитооптический элемент поместить (по
лучу) между скрещенными поляризаторами (направления пропускания линейно
поляризованного света поляризаторов перпендикулярны). Систему скрещенных
поляризаторов принято называть поляризационным микроскопом. Эта система, в
принципе, не пропускает свет. Однако, если в такой микроскоп ввести
оптически активную среду, то часть света, пропорциональная квадрату синуса
угла поворота плоскости поляризации, пройдет через систему. Итак, с помощью
эффекта магнитооптической активности удается промодулировать свет по
интенсивности приблизительно пропорционально квадрату напряженности
магнитного поля. Магнитооптические эффекты применяются при считывании
информации с магнитооптических дисков.
РЗ ортоферриты и ферриты-гранаты являются одними из лучших
магнитооптических (МО) материалов, что обусловлено высокой прозрачностью
для видимого и ближнего ИК-диапазонов, значительной величиной эффекта
Фарадея и большим значением коэффициента оптической добротности (отношение
угла фарадеевского вращения к коэффициенту поглощения). Монооксид европия
обладает рекордными значениями величины фарадеевского вращения (до 106
градЧ см), что делает его очень перспективным для применения в качестве
магнитооптического материала.
Принцип действия магнитооптических устройств основан на использовании
различных магнитооптических эффектов (Фарадея, Керра) в доменных
структурах, перестраиваемых под воздействием внешних полей (тепловых,
магнитных и т.д.).
Например, МО-модулятор осуществляет пространственную модуляцию
световой волны при прохождении ее через перемагничиваемую доменную
структуру тонкой магнитной пленки. Принцип модуляции основан на
периодическом повороте плоскости поляризации света в пленке при подаче
периодического управляющего сигнала в обмотку управления. Полученную
фазовую модуляцию светового пучка с помощью анализатора преобразуют в
амплитудную.
Из других МО-устройств можно выделить оптические ЗУ, МО-устройства
сканирования света и ряд других.
Пригодность магнитных материалов для создания на их основе
магнитооптических устройств зависит от совокупности магнитооптических
свойств.
Магнитооптические свойства оценивают по магнитооптической активности в
диапазоне оптических волн с учетом возможной их анизотропии.
Магнитооптическую активность характеризуют с помощью угла удельного
фарадеевского вращения _____________ и коэффициента поглощения:
где d — толщина образца; I0, I1 — соответственно интенсивности
падающего и прошедшего кристалл света.
Феррогранаты имеют окно прозрачности в диапазоне волн 1,15— 5 мкм.
Наиболее перспективными материалами являются чистые железоиттриевые гранаты
(ЖИГ) и висмутосодержащие гранаты, в которых часть иттрия заменена на
висмут.
Синтезирование эпитаксиальных пленок ферритов-гранатов, включающее
подбор состава исходных пленок и подложки, выбор оптимальной обработки
(отжига), обеспечивает получение материалов с высокими магнитооптическими
свойствами, различающихся по намагниченности, коэрцитивной силе,
анизотропии, подвижности доменной стенки и т. п.
Ферриты-гранаты являются основными магнитооптическими материалами в
инфракрасной области. Для видимого света они мало пригодны. Имеются данные
об использовании высококачественных пленок ферритов-гранатов в видимом
свете .
Однако при реализации устройств на этих материалах надо иметь в виду
следующие особенности. Технология производства ортоферптов не позволяет
изготавливать очень тонкие пластины (меньше 1 мкм). Именно по этой причине
ортоферриты применяют при ?>0,5 мкм, хотя имеются данные о том, что и при ?
= 0,45 мкм их оптические свойства выше свойств MnBi-пленок. Оптимальная
толщина пластин ортоферритов для ?=0,63 мкм составляет 60—90 мкм. Вторая
особенность связана с оптической анизотропностью ортоферритов,
обусловленной низкой симметрией ромбической ячейки. Для исключения явления
двулучепреломления пластины из ортоферритов вырезают нормально к оптической
оси. При этом реализуется устойчивая полосовая доменная структура, а не
ЦМД. Установлено, что в очень тонких пластинах при толщинах порядка 1 мкм
двулучепреломление незначительно, и материал можно в этом случае считать
изотропным. Введение в ортоферрит ионов редкоземельных элементов
значительно повышает изотропность их оптических свойств.
Феррошпинели, содержащие ионы Со2+ в тетраэдрических позициях
используют в качестве магнитооптических материалов при ?= 5 - 12 мкм, где
они обладают высокой прозрачностью и большим ? (до 105 град/см). Это
практически единственные материалы, пригодные для создания
магнитооптических устройств в этом диапазоне волн.
ПЛЕНКИ ДЛЯ ТЕРМОМАГНИТНОЙ ЗАПИСИ
Термомагнитный эффект
Магнитные свойства ферромагнетиков существенно зависят от
температуры. Достаточно точно эта зависимость описывается законом Кюри-
Вейса: µ=С/(ТК - Т), где С - некоторая константа (константа Кюри),
зависящая от материала, ТК - температура (точка) Кюри. Закон обратной
зависимости магнитной восприимчивости парамагнетиков от температуры
установлен в 1895 г французским физиком П.Кюри. Позже, в 1907 г другой
француз П.Вейс уточнил закон применительно к ферромагнетикам.
По закону Кюри-Вейса при Т, стремящимся к ТК, магнитная
восприимчивость расходится (становится бесконечно большой). Это не должно
смущать, поскольку Тк - особая точка. При температуре Кюри происходит
переход вещества из парамагнитной фазы в ферромагнитную. При температуре
ниже точки Кюри вещество является ферромагнетиком, выше - парамагнетиком.
При приближении (снизу по температуре) магнитная восприимчивость µ резко
возрастает. Этот процесс поясняется рис. 3.
[pic]
По мере роста температуры возрастает крутизна наклонных участков
петли гистерезиса (соответственно, и |i). При этом уменьшается коэрцитивная
сила и максимальная остаточная намагниченность, а отношение ВН/НК растет.
Все это ведет к резкому росту эффективности записи.
Естественно, эти особенности магнитных свойств ферромагнетиков
вблизи точ
| |  скачать работу |
Магнитные материалы для микроэлектроники |
