Моделирование процессов ионной имплантации
ядра атомными электронами (см):
[pic]
Коэффициент передачи ионом с массой М1 атому с массой М2 максимально
возможной энергии при лобовом столкновении:
[pic]
Коэффициенты, учитывающие торможение, обусловленное ядерным
электронным взаимодействием:
[pic]
[pic]
Параметры, учитывающие торможение, обусловленные ядерным
взаимодействием, с=0.45, d=0.3.
Собственная концентрация атомов в кристалле N2, см-3, заряды ядер
иона Z1, атомов мишени Z2.
Профили распределения концентрации внедренных ионов определяются
характером распределения средних нормальных пробегов по глубине облученного
слоя. Пучок ионов, попадая в такие вещества, испытывает случайные
столкновения с атомами, и распределение пробегов описывается законом
распределения случайной величины. Аналогичная ситуация наблюдается и в
монокристаллах, если ионный пучок попадает на произвольную ориентированную
поверхность пластины относительно кристаллографических направлений с малыми
индексами, например вдоль оси (763). Такое внедрение называют не
ориентированным. В этом случае профиль внедренных атомов описывается, как и
для аморфных веществ, кривой Гаусса:
[pic]
Максимум концентрации примеси в отличие от случая введения ее методом
диффузии залегает не на поверхности, а на глубине x=Rp:
[pic]
Задача№2:
К примеру, для создания транзистора типа n-p-n в эпитаксиальный слой
с электропроводностью n- типа производят последовательную имплантацию ионов
акцепторной примеси с энергией Еа и дозой Nа для формирования базовой
области и ионов донорной примеси с энергией Ед и дозой Nд для формирования
эмиттера, причем Rpa>Rpd, а Cmax a < Cmax d. Суммарное распределение
примеси описывается выражением:
[pic]
Глубину залегания коллекторного перехода определяем из условия:
[pic]
откуда
[pic]
где
[pic]
Глубину залегания эмиттерного перехода с учетом того, что С(Xjэ)
>>Cb, определяем из условия:
[pic]
откуда
[pic]
где
[pic]
[pic]
[pic]
4. Программное обеспечение:
Разработанная расчетно-информационная система предназначена для
работы в среде Windows. Windows разработана корпорацией Microsoft, дата
первого поступления в продажу 1995 год и крупнейшие мировые компании
организовали выпуск различных приложений, использующих богатые возможности
новой операционной системы.
Эффективность работы компьютера определяется не только его аппаратным
обеспечением: моделью процессора, размерами жесткого диска, оперативной
памяти и т. п., но и установленной на нем оперативной системой. Оперативная
система это программа, которая осуществляет управление всеми устройствами
компьютера и процессом обработки на нем информации.
Windows 95/98 представляет собой высокопроизводительную,
многозадачную и многопоточную 32-разрядную операционную систему с
графическим интерфейсом и расширенными сетевыми возможностями. Она работает
в защищенном режиме и предназначена для настольных и персональных
компьютеров. Операционная система Windows позволяет более полно
использовать потенциал персонального компьютера.
Многозадачность означает, что можно работать с несколькими
программами одновременно. Многопоточное выполнение отдельной задачи
позволяет при задержке в выполнении одного потока работать со следующим.
Под потоком подразумевается последовательность команд, составляющих
отдельную частную задачу, решаемую внутри общей задачи (процесса).
Операционная система разработанная фирмой Microsoft обеспечивает
большое количество возможностей и удобств для пользователей. Широкое
распространение Windows сделало ее фактически стандартов для IBM PC
совместимых компьютеров.
Поставщики программного обеспечения для ряда отраслей промышленности
переходят на Windows 95, сокращая разработки для MS-DOS.
Кратко перечислю основные преимущества Windows 95 по сравнению с
широко распространенной операционной системой MS-DOS:
возможность параллельного (независимого) выполнения программ одновременно;
легкость переключения из одной программы в другую;
автоматизация обмена информации между различными программами, например,
рисунок , полученный в графической программе, можно легко вставить в текст,
созданный с использования текстового процессора;
облегчение доступа к программам и документам за счет использования
раскрывающихся меню;
нет необходимости запоминать имена программ и документов, так как для их
обозначения используются графические символы-значки;
увеличения объема памяти за счет использования свободного пространства на
жестком диске;
защищенность прикладных программ друг от друга в случае некорректных
действий одной из них.
Для разработки приложений существуют три варианта Delphi:
1. Client/Server Suite - средство создания приложений, рассчитанное
на использование в организациях, где требуются высокопроизводительные,
масштабируемые приложения, которые используют данные хранимые средствами
управления серверами.
2. Desktop - предназначен для индивидуальных программистов.
2. Developer - ориентирован на профессиональных разработчиков.
Для реализации поставленной задачи мною был использован продукт фирмы
Borland Delphi Developer версии 3.0. Delphi 3.0 представляет собой 32-
битовую версию популярного средства разработки приложений для Windows 95/
Windows NT.
Выбор определялся сравнением характеристик вариантов Delphi. Наиболее
приемлемые для создания расчетно-информационной системы оказались именно у
Delphi Developer 3.0.
5. Техническое обеспечение:
В результате расчета и компьютерного программирования использовалось
руководство пользователя: «Программирование в среде Delphi 4.0”, автор
Архангельский.
6. Результаты расчета:
Результаты расчета представлены в ПРИЛОЖЕНИИ…
7. Заключение:
В данном программном проекте представлены задачи, которые удовлетворяют
всем правилам и параметрам расчетов процесса ионной- имплантации, а
также представлены в наглядном виде все процессы расчета данных
структур, указанных в дипломном проекте.
8. Литература:
1. Архангельский «Программирование в среде Delphi 4.0».
2. А. И. Курносов, В. В. Юдин «Технология производства полупроводниковых
приборов и интегральных микросхем».
3. Программирование в среде Turbo Pascal v. 7.0.
| |  скачать работу |
Моделирование процессов ионной имплантации |
