Основные схемы возбуждения ЭЭЛ
рации
составляет 30-60 нс. Для того, чтобы продлить существование однородного
объемного разряда необходимо разделить его возбуждение на две стадии:
стадию формирования и стадию энерговклада в разряд, на которой необходимо
принять меры, препятствующие развитию ступенчатой ионизации и росту
концентрации электронов. Это можно сделать, путем значительного уменьшения
напряженности электрического поля на стадии энерговклада, т.е. уменьшения
E/N до значения (E/N)*. Уменьшение напряженности электрического поля можно
достичь путем последовательного включения стабилизирующих элементов
(балластных резисторов, нелинейных индуктивностей), а также созданием
систем возбуждения с изменяющимся во времени по определенному закону
импульсом напряжения.
При малых величинах обострительной емкости С0 основная её функция
состоит в формировании объемного разряда. За короткое время она заряжается
от накопительной емкости С1 до напряжения порядка двойного зарядного, а
затем разряжается на межэлектродный промежуток за вдвое меньшее время. При
столь высоком перенапряжении ((70 кВ /3,5 см·4 атм.) и крутом фронте
импульса возбуждения формируется однородный объемный разряд. Сама
обострительная емкость С0 разряжается на стадии пробоя, когда сопротивление
разрядной плазмы достаточно высоко. Основной энерговклад в разряд в этом
случае осуществляется от накопительной емкости С1. Уменьшение С0 до
нескольких нанофарад позволило разделить во времени формирование разряда и
его возбуждение. Этот эффект достигнут благодаря тому, что разрядка С0
осуществляется при напряжении в (2 раза большем, чем напряжение на С1 и
длится (20нс, а разрядка С1 фактически начинается после того, как С0
разрядилась. С увеличением обострительной емкости С0 ее роль изменяется.
Наряду с формированием разряда она осуществляет и энерговклад в разряд.
Мощность которого сравнима с мощностью энерговклада от С1. Кроме того, так
как волновое сопротивление контура L0С0 превышает активное сопротивление
плазмы в межэлектродном промежутке, то разряд С0 имеет колебательный
характер. Так как L0С0((L1+L0)С1, то наложение токов разряда обострительной
и накопительной емкостей приводит к колебательному суммарному энерговкладу.
При колебательном характере импульса тока напряжение возрастает от нуля до
некоторого максимального значения. В этом случае [pic] и при [pic][pic]
быстрое падение разрядного напряжения связано с влиянием собственной
индуктивности разряда, приводящей к неустойчивости и его контрагированию.
Рассмотренные выше процессы объясняют падение энергии генерации ХеСl-
лазера с ростом величины обострительной емкости до (30 нФ. Максимальная
энергия генерации достигается при минимальных С0 и L1. При С0(15 нФ
колебательный энерговклад отражается на импульсах генерации. При С0(30 нФ
изменяется режим возбуждения разряда. Мощность энерговклада в течение
первого импульса разрядного тока значительно возрастает. Этот рост
обусловлен разрядом обострительной емкости, в которую, за время задержки
разряда в межэлектродном промежутке, переходит значительная доля энергии,
запасенной в С1. Генерация или срывается после первого импульса тока
разряда или на втором импульсе возбуждения интенсивность ее значительно
ниже. Таким образом, рост энергии генерации с увеличением С0 при L1=23 и 33
нГн происходит благодаря росту мощности энерговклада в течение первого
импульса тока разряда. Отсутствие роста энергии генерации с увеличением С0
при L1=11нГн можно объяснить следующим образом. При L1=11 нГн время зарядки
С0 от С1 сравнимо с временем разряда С0 на межэлектродный промежуток. После
пробоя межэлектродного промежутка при напряжении на С0, близком к
максимальному, Со разряжается как на него, так и обратно на С1. Этот
процесс приводит к уменьшению энерговклада во время первого импульса
разрядного тока и отсутствию роста энергии генерации. При С1=300 и 225 нФ
выходная энергия при одной и той же величине обострительной емкости все же
больше при L1=11 нГн, чем при L1=23 и 33 нГн, вследствие большей мощности
энерговклада от накопительной емкости. При С1=75 нФ и L1=23 и 33 нГн
энергия генерации значительно больше, чем при L1=11 нГн вследствие
уменьшения энерговклада от С1 и обратной переразрядки на нее С0 .
Исследовалась также зависимость работы лазера от величины зарядного
напряжения при L1=11 нГн, С1=300 нФ и С0=3,6 нФ , 25 нФ , 37 нФ , 70 нФ,
без С0. Во всех случаях наблюдается рост энергии генерации ХеС1-лазера с
возрастанием U0. Причем максимальная энергия генерации – 1,7 Дж
достигается при минимальном значении обострительной емкости С0=3,6 нФ. Без
обострительной ёмкости эффективность генерации значительно меньше .
Таким образом, в результате проведенных исследований показано, что
уменьшение обострительной емкости С0 до значений (0,01-0,02) С1, при
одновременном уменьшении индуктивности L1 в цепи зарядки С0 от С1 до
минимально возможной величины, позволяет сформировать для возбуждения
активной среды лазера сдвоенный импульс: короткий высоковольтный ((2U0) для
формирования разряда и длинный ((U0) для энерговклада в него, получать с
применением емкостной предыонизации однородный объемный разряд
длительностью (200 нс и увеличить энергию генерации лазера в 1,5-2 раза.
Анализ публикаций последнего времени показывает, что полученные
результаты имеют практическую реализацию в мощных электроразрядных
эксимерных лазерах, где энергия генерации ?10 Дж и КПД ~ 4% достигается при
возбуждении лазера сдвоенным разрядом.
2.2 Описание схемы LC-инвертора
Известно, что для эксимерных лазеров требуется относительно высокий
уровень интенсивности накачки. В электроразрядных эксимерных лазерах
интенсивность накачки составляет от нескольких десятых до нескольких единиц
МВт/см3 причем, для различных типов эксимерных лазеров оптимальные значения
этого параметра, определяемые с точки зрения максимальной эффективности
накачки существенно различны.
При прочих равных условиях возбуждения эксимерных лазеров оптимальная
мощность энерговклада может зависеть от типа используемой электрической
схемы возбуждения (LC-инвертор, емкостная перезарядка, системы с
высоковольтным предимпульсом и т. д.).
В настоящей работе рассмотрена схема возбуждения элекроразрядного
эксимерного лазера, выполненная по типу LC-инвертора. Данная схема (рис.5)
имеет ряд преимуществ. К ним относят возможность увеличение напряжения на
разрядном промежутке, способствующего улучшению однородности разряда и
повышения эффективности энерговклада в активную среду при небольших
зарядных напряжениях, снижение нагрузки на коммутатор и повышение его срока
службы, так как он не включается в цепь последовательно и через него не
проходит вся запасаемая энергия.
Расчет производился для эксимерного электроразряного лазера. На рис.5
представлена его принципиальная электрическая схема. Излучатель
представляет собой диэлектрическую разрядную камеру, внутри которой
располагается профилированный цельнометаллический анод (А), сетчатый катод
(К) и электрод предыонизации (Э). Предыонизация активной среды в
межэлектродном промежутке (МП) осуществлялась излучением емкостного разряда
из-под сетчатого катода при подаче импульса высокого напряжения на электрод
предыонизации. Такое расположение системы предыонизации позволяет
максимально приблизить источник ионизирующего излучения к зоне основного
разряда и достичь однородного распределения начальных электронов в МП.
Основной разрядный объем составляет 90х3,5х2 см3 (ширина разряда 2 см). На
торцах разрядной камеры располагается резонатор лазера, который образован
плоским зеркалом с Al-покрытием и плоскопараллельной кварцевой пластиной.
Возбуждение поперечного разряда осуществляется системой, выполненной по
типу LC-инвертора, принципиальная схема которой также представлена на
рис.5. Она включает НЕ С1 и С2, которые от источника постоянного высокого
напряжения через резистор R заряжались до напряжения Uo. После срабатывания
коммутатора РУ, в качестве которого используется управляемые разрядники РУ-
65, через L2 происходит инверсия напряжения на С2, и через индуктитвность
L1 осуществляется зарядка обострительной емкости (ОЕ) Со до напряжения,
близкого к двойному зарядному. ОЕ Со подключена к электродам лазера с
минимально возможной для данной конструкции индуктивностью Lо. Разряд
предыонизации возбуждаетя от отдельного LC-контура включающего Спр –
накопительную емкость, Lпр – индуктивность в контуре предыонизации, РУ1
коммутатор Спр заряжается от источника постоянного высокого напряжения
через резисторы R3 и R4 до напряжения Uo. Энергия генерации измерялась
калориметром ИМО-2Н, а напряжение на Со, ток разряда, форма и длительность
импульса генерации - осциллографом 6ЛОР-04 с помощью резистивного делителя
Д (R1-R2), поясов Роговского ПР1 и ПР2 и вакуумного фотодиода ФЭК-22СПУ.
Рис.5. LC-инвертор.
Рис.6. Упрощенная схема LC-инвертора.
Рис.7.Упрощенная схема LC-инвертора для холостого хода.
Заключение
Выполняя свою курсовую работу, которая посвящена теоретическому
исследованию систем возбуждения электроразрядных эксимерных лазеров,
используя богатые научные статьи преподавателей кафедры лазерной физики
| |  скачать работу |
Основные схемы возбуждения ЭЭЛ |
